作为薄膜晶体管(TFT)技术的入门教材，本书以非晶硅薄膜晶体管（a Si TFT)和多晶硅薄膜晶体管(p Si TFT)为例详细讲解了与TFT技术相关的材料物理、器件物理和制备工艺原理及其在平板显示中的应用原理等。　　本书共分7章。第1章简单介绍了薄膜晶体管的发展简史； 第2章详细阐述了TFT在平板显示有源矩阵驱动中的应用原理； 第3章深入讲解了薄膜晶体管相关的半导体、绝缘体和电极材料物理； 第4章详细阐述了非晶硅TFT和多晶硅TFT器件物理的相关基础知识； 第5章系统介绍了TFT制备的单项工艺原理； 第6章仔细讲解了非晶硅TFT阵列和多晶硅TFT阵列工艺整合原理； 第7章简单总结全书并展望了以aIGZO TFT为代表的非晶氧化物薄膜晶体管技术的发展趋势。每章后附有习题，可供课堂练习或课后作业使用。　　本书适合于作为大学本科生和研究生相关课程的教材，也适合针对从事TFT技术相关工作的工程技术人员作为技术培训和在职进修的教材或参考书籍。 　　董承远，现执教于上海交通大学电子工程系。主要研究方向为薄膜晶体管（TFT）工艺、器件与电路及其在平板显示(FPD)中的应用。2003年7月于上海交通大学获工学博士学位。　　作为上海光电NEC液晶显示器有限公司早期工程师之一，曾赴日学习过TFT工艺技术，后来又参与了国内TFT-LCD生产线的开创工作。2006年离开SVA-NEC后先后在昆山龙腾光电有限公司和上海天马微电子有限公司从事过TFT-LCD产品设计和新技术开发的工作。值得一提的是，作者在上述这些平板显示公司工作时负责一些针对年轻工程师的技术培训工作。　　从2009年至今，作者先后在上海交通大学电子工程系开设了《显示电子学》（研究生选修课）、《薄膜晶体管原理及应用》（本科生必修课）和《薄膜晶体管技术》（工程硕士必修课）等几门与TFT技术相关的课程。 第1章绪论1.1薄膜晶体管发展简史1.2薄膜晶体管的技术分类及比较1.3薄膜晶体管的应用简介1.4本书的主要内容及架构习题参考文献第2章平板显示的有源矩阵驱动2.1平板显示简介2.1.1显示技术的分类及特性指标2.1.2平板显示的定义和分类2.1.3液晶显示器件的基本原理2.1.4有机发光二极管显示的基本原理2.2液晶显示的有源矩阵驱动2.2.1液晶显示的静态驱动和无源矩阵驱动简介2.2.2AMLCD像素电路的充放电原理2.2.3AMLCD像素阵列的相关原理2.2.4液晶显示有源矩阵驱动的特殊方法2.2.5液晶显示有源矩阵驱动的技术要求2.3有机发光二极管显示的有源矩阵驱动2.3.1有机发光二极管显示的无源矩阵驱动简介2.3.2有机发光二极管显示的有源矩阵驱动基本原理2.3.3有机发光二极管有源矩阵驱动的技术要求2.4本章小结习题参考文献第3章薄膜晶体管材料物理3.1非晶硅材料物理3.1.1非晶体简介3.1.2非晶硅材料结构3.1.3非晶硅电学特性3.2多晶硅材料物理3.2.1多晶体简介3.2.2多晶硅材料结构3.2.3多晶硅电学特性3.3薄膜晶体管绝缘层材料3.3.1绝缘层介电特性3.3.2绝缘层漏电特性3.3.3氮化硅薄膜3.3.4氧化硅薄膜3.4薄膜晶体管电...