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集成电路制造技术――原理与工艺
王蔚 等编 | 电子工业出版社
ISBN:9787121282775
原价: ￥49.00
销售价:￥19.75元
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分类
微电子学、集成电路（IC）
作者
王蔚 等编
出版社
电子工业出版社
图书简介
全书共分5个单元，靠前单元，主要介绍单晶硅衬底结构特点，体硅和外延硅片的制造方法；第二单元~第五单元，主要介绍硅芯片制造基本单项工艺（氧化、掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试）的原理、方法、设备，以及依托的技术基础和发展趋势。每单元后都有习题。另外，还在附录中以双极性晶体管制作为例介绍微电子生产实习等内容。
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