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半导体薄膜技术与物理
叶志镇 | 浙江大学出版社
ISBN:9787308139106
原价: ￥36.00
销售价:￥8.55元
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分类
工学
作者
叶志镇
出版社
浙江大学出版社
图书简介
“十二五”普通高等教育本科重量规划教材，浙江大学材料科学与技术丛书。本科生教学用书，介绍半导体薄膜的真空技术；物理气相沉积技术（PVD）；化学气相沉积技术（CVD）；分子束外延技术；液相外延技术等内容。
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