能源、材料、信息科学是新技术革命的先导和支柱。作为特殊形态的电子薄膜，已成为微电子学、光电子学、磁电子学、刀具超硬化、传感器、太阳能利用等新兴学科的材料基础，是高新技术的重要组成部分。本书内容既介绍各类固体薄膜的研究和发展资料，也包括国内学者和著者的研究成果，反映了当前学科的先进水平。本书既可作为相关专业高年级大学生及研究生的教学参考书，也可供广大从事薄膜科学与技术的工程技术人员、科技工作者参考。