本书为高等工科院校“精密仪器设计”课教材，对与精密仪器设计有关的基本理论和方法及微型机电系统作了较全面系统的论述，荟萃了现代精密仪器的有关资料和科研成果，反映了该学科领域的当代发展水平。全书共分11章，包括现代精密仪器概论、精密仪器总体设计、精密仪器设计的精度理论、精密机械系统、微位移技术、光学系统设计、定位与测量系统、瞄准与对准系统、自动调焦系统、精密机械伺服系统设计、微型机电系统。本书适用于测控技术与仪器、光学工程及机电类专业在专院校师生和从事仪器科学与技术及机电类形容、设计、制造、调修的工程技术人员学习和参考。